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Ultra-flat AlN grown with a pulsed H
2
etching condition
Chun Pin Huang
, Kapil Gupta
, Chuan Pu Liu
,
Kun Yu Lai
光電科學與工程學系
研究成果
:
雜誌貢獻
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期刊論文
›
同行評審
7
引文 斯高帕斯(Scopus)
總覽
指紋
研究計畫
(1)
專案
1
已完成
每年專案
1結果
狀態,開始日期
(降序)
標題
開始日期
結束日期
類型
狀態,開始日期
(升序)
搜尋結果
已完成
以最佳化之導納軌跡圖研製高功率 UVC LED
Lai, K.-Y.
(PI)
1/08/17
→
31/07/18
研究計畫
:
Research
Aluminum Nitride
100%
Single Substrate
66%
Ultraflat Surfaces
66%
Surface Roughness
66%
Annealing
66%