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The influence of stress on the growth of titanium silicide thin films on (001) silicon substrates

  • S. L. Cheng
  • , S. M. Chang
  • , H. Y. Huang
  • , Y. C. Peng
  • , L. J. Chen
  • , B. Y. Tsui
  • , C. J. Tsai
  • , S. S. Guo

研究成果: 雜誌貢獻 › 會議論文 › 同行評審

指紋

深入研究「The influence of stress on the growth of titanium silicide thin films on (001) silicon substrates」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式

Material Science

Earth and Planetary Sciences

Keyphrases

Engineering

Chemical Engineering