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Silicon-based transmissive diffractive optical element
Chien Chieh Lee
, Yu Cheng Chang
,
Chih Ming Wang
, Jenq Yang Chang
, Gou Chung Chi
光電科學研究中心
光電科學與工程學系
研究成果
:
雜誌貢獻
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期刊論文
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同行評審
14
引文 斯高帕斯（Scopus）
總覽
指紋
指紋
深入研究「Silicon-based transmissive diffractive optical element」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Silicon-based
100%
Diffractive Optics
100%
Transmissive
100%
Photodiode
50%
Fabrication Methods
25%
Hologram
25%
Beam Splitting
25%
Silicon Substrate
25%
Silicon Nitride
25%
Visible Spectrum
25%
High Diffraction Efficiency
25%
Diode Laser
25%
Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)
25%
Pickup Head
25%
Silicon Micromachining Process
25%
Free-standing Membrane
25%
SiNx Film
25%
SiNx
25%
Beam Focusing
25%
KOH Etching
25%
Binary Phase
25%
Physics
Photodiode
100%
Silicon Nitride
50%
Vapor Deposition
50%
Semiconductor Laser
50%
Beam Splitting
50%
Micromachining
50%
Beam Focusing
50%
Holography
50%
Engineering
Optical Element
100%
Photodiode
50%
Good Agreement
25%
Chemical Vapor Deposition
25%
Vapor Deposition
25%
Holograms
25%
Silicon Substrate
25%
Nitride
25%
Micro Machining
25%
Material Science
Silicon
100%
Film
33%
Silicon Nitride
33%
Low Pressure Chemical Vapor Deposition
33%
Micromachining
33%
Laser Diode
33%