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Semiconductor layer transfer by anodic wafer bonding
T. H. Lee
, Q. Y. Ton, Y. L. Chao, L. J. Huang, U. Goesele
機械工程學系
研究成果
:
會議貢獻類型
›
會議論文
›
同行評審
總覽
指紋
指紋
深入研究「Semiconductor layer transfer by anodic wafer bonding」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Engineering & Materials Science
Electrostatic force
15%
Glass
55%
Ions
10%
Semiconductor materials
62%
Temperature
18%
Thermal stress
11%
Wafer bonding
100%
Chemical Compounds
Force
7%
Glass
48%
Ion
4%
Semiconductor
53%
Surface
3%
Surface Smoothness
18%