Refining silicon nitride waveguide quality through femtosecond laser annealing

Pei Hsun Wang, Chien Hung Chen, Nien Lin Hou, Jia Hao Cao, He Yuan Zheng, Hung Wen Chen

研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

指紋

深入研究「Refining silicon nitride waveguide quality through femtosecond laser annealing」主題。共同形成了獨特的指紋。

Keyphrases

Material Science