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Oxidation behaviors of SiGe nanowire arrays fabricated by Au-assisted wet chemical etching
C. C. Lai, J. S. Lin,
S. L. Cheng
,
S. W. Lee
化學工程與材料工程學系
材料科學與工程研究所
研究成果
:
書貢獻/報告類型
›
會議論文篇章
›
同行評審
總覽
指紋
指紋
深入研究「Oxidation behaviors of SiGe nanowire arrays fabricated by Au-assisted wet chemical etching」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Engineering & Materials Science
Wet etching
100%
Nanowires
88%
Oxidation
63%
Nanospheres
29%
Nanostructures
21%
Alloying
20%
Lithography
19%
Etching
19%
Eutectics
18%
Oxygen
14%