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Optical heterodyne grating interferometry for displacement measurement with subnanometric resolution
Ju Yi Lee
, Hui Yi Chen, Cheng Chih Hsu, Chyan Chyi Wu
機械工程學系
研究成果
:
雜誌貢獻
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期刊論文
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同行評審
87
引文 斯高帕斯(Scopus)
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指紋
指紋
深入研究「Optical heterodyne grating interferometry for displacement measurement with subnanometric resolution」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Measurement System
100%
Optical Heterodyne
100%
Displacement Measurement
100%
Grating Interferometry
100%
Heterodyning
50%
Phase Variation
50%
Phase Measurement
50%
Light Source
50%
Grating
50%
Measurement Resolution
50%
Low-frequency Noise
50%
High-frequency Noise
50%
Heterodyne Interferometer
50%
Optical Phase
50%
Lock-in Amplifier
50%
Moving Grate
50%
Engineering
Interferometry
100%
Measurement System
100%
Displacement Measurement
100%
Frequency Noise
100%
Experimental Result
50%
Light Source
50%
Amplifier
50%
Measurement Resolution
50%
Optical Phase
50%
Physics
Interferometry
100%
Light Source
100%