Nanothick layer transfer of hydrogen-implanted wafer using polysilicon sacrificial layer

  • C. H. Huang
  • , C. L. Chang
  • , Y. Y. Yang
  • , T. Suryasindhu
  • , W. C. Liao
  • , Y. H. Su
  • , P. W. Li
  • , C. Y. Liu
  • , C. S. Lai
  • , J. H. Ting
  • , C. S. Chu
  • , C. S. Lee
  • , T. H. Lee

研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審

指紋

深入研究「Nanothick layer transfer of hydrogen-implanted wafer using polysilicon sacrificial layer」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式

Keyphrases

Material Science

Engineering