Nano-scaled Ge FinFETs with low temperature ferroelectric HfZrOx on specific interfacial layers exhibiting 65% S.S. reduction and improved ION
- C. J. Su
- , Y. T. Tang
- , Y. C. Tsou
- , P. J. Sung
- , F. J. Hou
- , C. J. Wang
- , S. T. Chung
- , C. Y. Hsieh
- , Y. S. Yeh
- , F. K. Hsueh
- , K. H. Kao
- , S. S. Chuang
- , C. T. Wu
- , T. Y. You
- , Y. L. Jian
- , T. H. Chou
- , Y. L. Shen
- , B. Y. Chen
- , G. L. Luo
- , T. C. Hong
研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審
39
引文
斯高帕斯(Scopus)