Low-energy ion-enhanced deposition of SiO2 in rf magnetron plasmas

I. Lin, L. W. Ting

研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

指紋

深入研究「Low-energy ion-enhanced deposition of SiO2 in rf magnetron plasmas」主題。共同形成了獨特的指紋。

Physics & Astronomy