In-situ plasma monitoring of PECVD a-Si:H(i)/a-Si:H (n) surface passivation for heterojunction solar cells application

Yu Lin Hsieh, Li Han Kau, Hung Jui Huang, Chien Chieh Lee, Yiin Kuen Fuh, Tomi T. Li

研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審

2 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「In-situ plasma monitoring of PECVD a-Si:H(i)/a-Si:H (n) surface passivation for heterojunction solar cells application」主題。共同形成了獨特的指紋。

Keyphrases

Engineering

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Chemical Engineering