Formation of TiSi2 thin films on stressed (001)Si substrates
S. L. Cheng, H. Y. Huang, Y. C. Peng, L. J. Chen, B. Y. Tsui, C. J. Tsai, S. S. Guo, Y. R. Yang, J. T. Lin
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引文
斯高帕斯（Scopus）