Formation of TiSi2 thin films on stressed (001)Si substrates

S. L. Cheng, H. Y. Huang, Y. C. Peng, L. J. Chen, B. Y. Tsui, C. J. Tsai, S. S. Guo, Y. R. Yang, J. T. Lin

研究成果: 雜誌貢獻會議論文同行評審

5 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Formation of TiSi2 thin films on stressed (001)Si substrates」主題。共同形成了獨特的指紋。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds

Physics & Astronomy