Formation of SiGe Nanorod arrays by combining nanoshpere lithography and Au-assisted chemical etching

C. H. Lai, Y. J. Lee, P. H. Yeh, S. W. Lee

研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審

指紋

深入研究「Formation of SiGe Nanorod arrays by combining nanoshpere lithography and Au-assisted chemical etching」主題。共同形成了獨特的指紋。

Engineering & Materials Science