FinFET Plus: A scalable FinFET architecture with 3D air-gap and air-spacer toward the 3nm generation and beyond
- C. K. Chiang
- , H. Pai
- , J. L. Lin
- , J. K. Chang
- , M. Y. Lee
- , E. R. Hsieh
- , K. S. Li
- , G. L. Luo
- , Osbert Cheng
- , S. S. Chung
研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審
15
引文
斯高帕斯（Scopus）