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Fabrication of planar blazed grating using laser LIGA
Chi Feng Chen
, Rui Ting Zheng, Bor Hong Yao
機械工程學系
研究成果
:
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會議論文
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同行評審
總覽
指紋
指紋
深入研究「Fabrication of planar blazed grating using laser LIGA」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Micrograting
100%
Blazed Grating
100%
Grating
50%
Laser System
25%
Structure Optimization
25%
Theory Structure
25%
Rigorous Coupled Wave Theory
25%
Diffractive Theory
25%
Smooth Profile
25%
LIGA Technology
25%
Manufacturing Capability
25%
248 Nm Excimer Laser
25%
Engineering
Laser System
100%
Excimer Laser
100%
Blazed Grating
100%
Physics
Excimer Laser
100%