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Electrochemical sensors produced by microelectronic fabrication techniques
C. C. Liu
, R. R. Savinell, M. R. Neuman
材料科學與工程研究所
研究成果
:
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同行評審
總覽
指紋
指紋
深入研究「Electrochemical sensors produced by microelectronic fabrication techniques」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Engineering & Materials Science
Electrochemical sensors
100%
Fabrication
49%
Microelectronics
71%
Monitoring
9%
Plasma etching
25%
Sensors
34%
Substrates
11%
Temperature
13%
Temperature sensors
18%
Thick films
20%
Thin films
15%
Chemical Compounds
Etching
20%
Microelectronics
75%
Plasma
13%