Effects of stress on formation of silicides on silicon-on-insulator wafers

C. H. Liu, S. C. Liew, S. L. Cheng, L. J. Chen

研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審

1 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Effects of stress on formation of silicides on silicon-on-insulator wafers」主題。共同形成了獨特的指紋。

Keyphrases

Engineering

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