Effects of N+1 implantation on CoSi2 contacts on shallow junctions

K. M. Chen, S. L. Cheng, L. J. Chen, B. Y. Tsui

研究成果: 雜誌貢獻期刊論文同行評審

1 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Effects of N+1 implantation on CoSi2 contacts on shallow junctions」主題。共同形成了獨特的指紋。

Keyphrases

Engineering

Material Science

Chemical Engineering