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Effect of annealing atmosphere (CO and N2 gas flow) on surface morphology and crystal quality of AlN buffer layer

研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

7 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Effect of annealing atmosphere (CO and N2 gas flow) on surface morphology and crystal quality of AlN buffer layer」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式

Keyphrases

Material Science

Engineering