Direct patterning on low dielectric constant materials with electron beam lithography
Ben Chang Chen, Yee Kai Lai, Fu Hsiang Ko, Cheng Tung Chou, Hsuen Li Chen
研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審
Ben Chang Chen, Yee Kai Lai, Fu Hsiang Ko, Cheng Tung Chou, Hsuen Li Chen
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