Direct patterning on low dielectric constant materials with electron beam lithography
- Ben Chang Chen
- , Yee Kai Lai
- , Fu Hsiang Ko
- , Cheng Tung Chou
- , Hsuen Li Chen
研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審
2
引文
斯高帕斯（Scopus）