Development of CMOS MEMS thermal bimorph actuator for driving microlens

Kah How Koh, Chengkuo Lee, Jyun Hong Lu, Chii Chang Chen

研究成果: 書貢獻/報告類型會議論文篇章同行評審

7 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Development of CMOS MEMS thermal bimorph actuator for driving microlens」主題。共同形成了獨特的指紋。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds