Design of high-performance and highly reliable nMOSFETs with embedded Si:C S/D extension stressor(Si:C S/D-E)

Steve S. Chung, E. R. Hsieh, P. W. Liu, W. T. Chiang, S. H. Tsai, T. L. Tsai, R. M. Huang, C. H. Tsai, W. Y. Teng, C. I. Li, T. F. Kuo, Y. R. Wang, C. L. Yang, C. T. Tsai, G. H. Ma, S. C. Chien, S. W. Sun