Damage of silicon induced in low-energy CF4 discharges

F. Y. Chen, Lin I

研究成果: 雜誌貢獻期刊論文同行評審

1 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Damage of silicon induced in low-energy CF4 discharges」主題。共同形成了獨特的指紋。

Physics & Astronomy