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Common-path laser encoder for nanopositioning in long travel range
Chyan Chyi Wu, Cheng Chih Hsu,
Ju Yi Lee
, Chun Yao Cheng
機械工程學系
研究成果
:
書貢獻/報告類型
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會議論文篇章
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同行評審
1
引文 斯高帕斯(Scopus)
總覽
指紋
指紋
深入研究「Common-path laser encoder for nanopositioning in long travel range」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Common Path
100%
Laser Encoder
100%
Large Travel Range
100%
Nanopositioning
100%
Measurement Results
33%
Nanometer Resolution
33%
Diffractive
33%
Nanometer Scale
33%
Laser Interferometer
33%
Environmental Disturbance
33%
Measurement Resolution
33%
Scale Measurement
33%
Travel Range
33%
Engineering
Nanometre
100%
Experimental Result
50%
Laser Interferometer
50%
Environmental Disturbance
50%
Measurement Resolution
50%
Scale Measurement
50%