CMOS-Compatible Silicon Etched U-Grooves With Groove-First Fabrication for Nanophotonic Applications

Pei Hsun Wang, Hung Chun Liu, Hung Yu Chen, Yi Xian Zhong, Kuan Heng Chen

研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

4 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「CMOS-Compatible Silicon Etched U-Grooves With Groove-First Fabrication for Nanophotonic Applications」主題。共同形成了獨特的指紋。

Keyphrases

Engineering

Physics

Material Science

Earth and Planetary Sciences