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Characterization of PZT thin films by sol-gel method in application of resonant sensor
J. Z. Tsai
, C. J. Chen, C. W. Hsiao, D. T. Hsieh,
Y. M. Hsin
電機工程學系
光電科學研究中心
研究成果
:
書貢獻/報告類型
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會議論文篇章
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同行評審
總覽
指紋
指紋
深入研究「Characterization of PZT thin films by sol-gel method in application of resonant sensor」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Sol-gel Method
100%
Resonant Sensor
100%
PZT Thin Films
100%
PZT Sensors
100%
Gravimetric Method
66%
Scanning Electron Microscopy
33%
Micrometer Scale
33%
Resonant Frequency
33%
Optical Microscopy
33%
Microfabrication Techniques
33%
Frequency Signal
33%
Leakage Current Density
33%
Detection Circuit
33%
Measuring Circuit
33%
Resonance Measurement
33%
C-V Characterization
33%
Sol-gel PZT
33%
Current Density Analysis
33%
DC Shift
33%
Engineering
Thin Films
100%
Sol-Gel Process
100%
Resonant Sensor
100%
Piezoelectric
50%
Frequency Signal
50%
Microfabrication
50%
Resonance Frequency
50%
Material Science
Thin Films
100%
Electronic Circuit
100%
Sol-Gel
100%
Density
50%
Microfabrication
50%
Scanning Electron Microscopy
50%
Piezoelectricity
50%