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Acoustic Performance of Stress Gradient-Induced Deflection of Triangular Unimorphic/Bimorphic Cantilevers for MEMS Applications
Ning Hsiu Yuan, Chih Chia Chen,
Yiin Kuen Fuh
,
Tomi T. Li
機械工程學系
研究成果
:
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期刊論文
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同行評審
1
引文 斯高帕斯(Scopus)
總覽
指紋
指紋
深入研究「Acoustic Performance of Stress Gradient-Induced Deflection of Triangular Unimorphic/Bimorphic Cantilevers for MEMS Applications」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Acoustic Performance
100%
Cantilever
100%
Cantilevers Geometry
20%
Decagon
20%
Deflection
100%
Diaphragm
40%
Fabrication Methods
20%
Finite Element Method
20%
Finite Element Simulation
20%
Hexagon
20%
Lead Zirconate Titanate
20%
Methodology Design
20%
Micro-electro-mechanical Systems
100%
Nitrides
40%
Piezoelectric Materials
20%
Sound Pressure Level
40%
Stress Gradient
100%
System Application
100%
Engineering
Acoustic Performance
100%
Diaphragm
50%
Finite Element Analysis
50%
Main Issue
25%
Microelectromechanical System
100%
Nitride
50%
Phase Composition
25%
Piezoelectric
25%
Piezoelectric Material
25%
Simulation Result
75%
Sound Pressure Level
50%
Stress Gradient
100%
Zirconium Titanate
25%
Material Science
Aluminum Nitride
50%
Finite Element Method
50%
Microelectromechanical System
100%
Phase Composition
25%
Piezoelectric Material
25%
Piezoelectricity
25%
Zirconium Titanate
25%