產學合作-熱電特性變溫量測系統2/2

本計畫將分別針對可升溫之熱電特性量測系統開發所需的製程技術、軟體及量測機台。綜觀目前商業化產品，僅有一家日商ULVAC、一家德商NETZSCH 公司有相關產品販售，材料熱電特性量測僅限於塊材，且價格昂貴。因此若能在設備組裝、架構、材料及量測元件準備製程上改良，並能在高溫範圍量測，將可突破國外廠商的壟斷，而本計畫所提出之解決之道便是結合本實驗室的技術及參與廠商多年來的軟硬體整合能力以製作出具有相當競爭力的量測設備。本計畫提出可升溫之熱電特性量測系統，研究重點包括：(1)局部升溫系統及溫控器配合組裝；(2)晶片載具及導線接腳製作; (3)高溫量測之電極設計及理論計算方法和驗證; (4)量測軟體開發及整合硬體設備; 及(5)真空腔體及水冷卻系統。本研究計畫將利用本實驗室所建立之量測平台、經驗及相關資源，由本實驗室負責設計三維塊材的量測電極及理論推導、完成晶片載具及導線接腳設計、製作連接導線及接腳、並量測試片以整合實驗參數與結果，來和現階段商用產品交叉驗證，並配合昇軒精密科技有限公司之技術完成軟體開發，並由昇軒公司完成局部升溫溫控模組和腔體的組裝，並整合軟硬體，我們將得到適用於可升溫至800℃之量測機台，並提出成本評估報告。本計畫提升合作企業昇軒精密科技有限公司產品之技術層次，製作出第一個國內自製之高溫量測系統，除為往後合作埋下契機外，亦同時培訓相關研發人才。