影像引導微電鍍雙螺旋微柱製作技術及其物性分析之研究(2/2)

常見的微米等級的結構物製作方法，仍然需要相當精度的半導體製程設備，因此其生產成本仍屬偏高。局部電化學沉積(local electrochemical deposition, LECD)的概念在1996年由Madden及Hunter提出，具有設備低廉，且耗能較少，能有效地降低微結構的製作成本。其優點包括不需使用光罩、所需設備便宜、所需要的能源較少、可在難加工材質上製作等。由於這些優點，在過去十餘年間，許多學者投入微電鍍技術。本實驗室也利用即時影像回饋控制，並利用Comsol軟體分析局部電場，以得到光滑且多樣的微結構物。本計畫希望繼續以往的努力，製作類似DNA雙螺旋的微結構，提供微物理量感應器使用。並研究雙螺旋結構的物理性質(如電容、電感及機械力學或導熱係數等)與其螺旋柱長度及間距變化的關係 ，以供微型感測器使用。