高速陣列型非球面波前檢測器開發

本計畫為「無使用外加光學元件之高動態範圍非球面波前檢測技術 (MOST- 105-2221-E-008-065 -)」之延續的多年研究計畫。於先前計畫中我們已成功開發波前檢測儀雛形機，此波前檢測無形機具備球面波的直接量測能力，其球面波前量測解析度約為1/20 waves，確實達到第一期的計畫要求，實驗室目前與台灣的一家大型光學公司進行產學合作，相關的衍生技術也已於年底成功技轉與另一家大型台灣電子公司。Shack-Hartman Wavefront Sensor 波前量測中擁有量測快速的優點，其應用在於生醫與天文與適性光學方面已經相當普遍成熟，但是用於工業的光學元件檢測則有彈性與精度不足的缺點: 量測時需使用Relay Optics 等附加光學元件，因此所需成本高昂且量測準備時間長，也增加了校正與量測時間。因此，舊的波前檢測方式對於高度變化與高速的產業非球面量測需求其彈性顯然是不足使用的。在此趨勢之下，我們提出了一個三年期的研究計畫，來改善目前的波前量測技術種種缺陷與缺點。我們希望藉由過去於非球面的拼接式干涉量測與光學鏡頭設計實務所累積的研究經驗，與這幾年實驗室所發展的聚焦式波前檢測器雛型機的發展經驗，來發展目前波前量測的非球面波前的潛力，使波前檢測器不僅可以直接量測球面波前，還可以量測高度的非球面波前並維持一定的量測精度，計畫預期可以打造出快速且有非球面量測彈性的波前感測量測儀，並運用此創新技術在科學和工業領域上。