類藍寶石硬度氮化物光學膜技術

本計畫名稱為＂ 類藍寶石硬度氮化物光學膜技術＂，其重點在於利用脈衝直流濺鍍系統低成本、高產量，以及氮化物介質材料之高硬度且物化特性良好之材料特性，發展觸控用超硬薄膜技術，為達成此目的我們結合中央大學光電系、化材系、儀科中心、統新光訊公司的研究與產業能量，進行本研究。本計畫利用電漿理論與技術，開發脈衝直流磁控濺鍍系統，改進反應濺鍍化合物薄膜時反應不完全所造成的吸收，此系統也可增加成膜能量以提高薄膜製密性，進而研發出一具有高機械及光學品質的新型濺鍍方法，並應用此新型濺鍍技術鍍製高透明性硬質薄膜如氮化鋁矽鈦、氮氧化鋁矽鈦，最後引進光學薄膜理論設計多層膜濾光片使觸控螢幕擁有高硬度及高可見光穿透率。