含鋁氮化鎵有機化學反應腔體之物種傳輸與濃度沉積分布之數值模擬研究(1/3)

Chen, Jyh-Chen (PI)

機械工程學系

狀態	已完成
有效的開始/結束日期	1/08/17 → 31/07/18

聯合國永續發展目標

聯合國會員國於 2015 年同意 17 項全球永續發展目標 (SDG)，以終結貧困、保護地球並確保全體的興盛繁榮。此專案有助於以下永續發展目標：

Keywords

鋁氮化鎵
有機金屬氣相沉積
高功率電子元件
參雜物
物種傳輸
數值模擬