柴氏長晶法生長矽單晶過程雜質控制之數值模擬分析(2/2)

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期1/08/1931/07/20

Keywords

  • 柴氏長晶法
  • 矽晶圓
  • 數值模擬
  • 熱質流輸送
  • 雜質控制

指紋

探索此專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。