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柴氏長晶法生長矽單晶過程雜質控制之數值模擬分析(2/2)
Chen, Jyh-Chen
(PI)
機械工程學系
概覽
指紋
研究成果
(1)
專案詳細資料
狀態
已完成
有效的開始/結束日期
1/08/19
→
31/07/20
檢視所有
檢視較少
Keywords
柴氏長晶法
矽晶圓
數值模擬
熱質流輸送
雜質控制
指紋
探索此專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。
Cusp Magnetic Field
Keyphrases
100%
Czochralski Silicon
Keyphrases
100%
Heat Flow
Keyphrases
100%
Silicon Melt
Keyphrases
100%
Heat Transport
Keyphrases
100%
Flow Transport
Keyphrases
100%
Oxygen Transport
Keyphrases
100%
Iso
Engineering
100%
研究成果
每年研究成果
2020
2020
2020
1
期刊論文
每年研究成果
每年研究成果
Effects of crystal-crucible iso-rotation and a balanced/unbalanced cusp magnetic field on the heat, flow, and oxygen transport in a Czochralski silicon melt
Nguyen, T. H. T.,
Chen, J. C.
, Hu, C. & Chen, C. H.,
1 2月 2020
,
於:
Journal of Crystal Growth.
531
, 125373.
研究成果
:
雜誌貢獻
›
期刊論文
›
同行評審
Flow Transport
100%
Oxygen Transport
100%
Heat Flow
100%
Czochralski Silicon
100%
Silicon Melt
100%
12
引文 斯高帕斯(Scopus)