柴氏長晶法生長矽單晶過程雜質控制之數值模擬分析(1/2)

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期1/08/18 → 31/07/19

Keywords

  • 柴氏長晶法
  • 矽晶圓
  • 數值模擬
  • 熱質流輸送
  • 雜質控制