MOCVD關鍵零組件技術開發暨人才培育(2/3)

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期1/01/1531/03/16

Keywords

  • 人才培育
  • 加熱器
  • MOCVD
  • 進氣擴散系統
  • 腔體與旋轉載台
  • 即時量測系統
  • 系統整合