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MOCVD關鍵零組件技術開發暨人才培育(2/3)
Chen, Jyh-Chen
(PI)
機械工程學系
概覽
專案詳細資料
狀態
已完成
有效的開始/結束日期
1/01/15
→
31/03/16
檢視所有
檢視較少
Keywords
人才培育
加熱器
MOCVD
進氣擴散系統
腔體與旋轉載台
即時量測系統
系統整合