探討在不同微結構銅中鈀原子之擴散行為並藉此發展低溫銅鈀固態擴散鍵合應用於氮化鎵發光二極體封裝製程(3/3)

本計晝目的為利用Cu/Pd間原子快速交互擴散的特性發展Cu/Pd固態擴散金屬鍵合技術。由初 步的研究成果我們發現，在Cu/Pd鍵合時改變適當的銅微結構有提升Cu/Pd間交互擴散係數的現 象。所以，本計晝將研究銅微結構對Cu/Pd間擴散行為提升的效應，並研究出一適當應力施加範圍， 可以將鍵結溫度能降低到150°C以下。我們認為可透過應力施予及調控銅的優選方向可進一步降低 Cu/Pd鍵合溫度。而低溫鍵合可有效減少晶圓鍵結所產生的熱應力破壞元件的效能。本計晝主要方 向是將銅鈀的固態擴散接合溫度可以低於150°C以下，三年研究分為四大部份討論：（1)不同應力下 之Cu/Pd交互擴散行為探討;(2)不同晶格優選方向（不同晶粒大小)之銅電鍍層對Cu/Pd交互擴散行 為探討並建立完整低溫Cu/Pd鍵合系統；（3)將低溫Cu/Pd擴散鍵合系統應用在thin-GaN LED之製 程技術開發；（4)研究不同低溫Cu/Pd鍵合製程條件對thin-GaN垂直式LED的光電表現的影響。