多元素硫族化物薄膜的原位生長與檢測

由於具有奇特的結構與性質，新穎的二維材料已經引起極大的興趣。在眾多的二維層狀材料中，硫族化物因為它們在建構未來超薄奈米元件的潛力而吸引廣泛的關注。雖然已經有些以硫族化物薄膜為基礎的成功應用，但是對硫族化物薄膜表面結構與性質的詳細研究仍然非常地稀少。在此計畫書中，我們計畫有系統地研究多元素硫族化物薄膜的成長，並對它們進行原位表面檢測。我們將設計建造一個能進行多材料蒸鍍與基本化學氣相沉積的成長系統，並將此系統與我們現有的表面分析系統整合在一起。如果本計畫執行成功，我們將擁有一個能成長硫族化物薄膜，並進行原位檢測的系統。此新系統將可排除在檢測薄膜過程中可能的曝氣汙染，使實驗提供更可靠的結果。這將對硫族化物薄膜的研究做出重要的貢獻。