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識別瑕疪分佈均勻性於量產晶圓圖-第二部:驕陽初露
Chen, Jwu-E
(PI)
電機工程學系
概覽
指紋
指紋
探索此專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Keyphrases
Volume Production
100%
Wafer Map
100%
Boomerang
57%
Effective number
57%
Defect Distribution
57%
Two-parameter
42%
Clustering Phenomena
28%
Wafer Yield
28%
Butterfly
28%
Defect numbers
28%
Wafer Patterns
14%
Wafer Defects
14%
Direct Expression
14%
Pattern Defect
14%
Sunburst
14%
Coordinate Points
14%
Project Identification
14%
Two Dimensional
14%
Loss Rate
14%
Map Analysis
14%
Non-uniform Distribution
14%
Uniform Distribution
14%
Number of Features
14%
Confidence Level
14%
Die Size
14%
Anticlustering
14%
Mathematics
Dice
100%
Nonuniform
100%
Uniform Distribution
100%
Clustering
100%
Coordinate Point
50%
Approximates
50%
Systems Analysis
50%
Confidence Level
50%
Good Choice
50%
Engineering
Production Volume
100%
Rate Loss
50%
Confidence Level
50%
Two Dimensional
50%
Systems Analysis
50%
Good Choice
50%