識別瑕疪分佈均勻性於量產晶圓圖-第二部:驕陽初露

本計畫“識別瑕疵分佈均勻性於量產晶圓圖 – 第二部: 驕陽初露＂為未來晶圓圖分析系統的接續。在前一年的研究成果中，建構了一個迴力棒圖，是從一個二維的晶圓圖圖像轉換成一個兩參數的數對，其中這兩參數是不良晶粒數與連續線數，在以這兩參數為座標的座標圖上，一個晶圓圖圖像表示成一個點，許多具均勻瑕疵而不同良率的晶圓圖圖像，在新座標圖上，這些點集合會形成一根迴力棒，故稱迴力棒圖，它可用來識別晶圓圖圖像是否是分佈均勻的瑕疵，若座標點落在迴力棒外，我們將判別為非均勻，反之，若在迴力棒內，則判別為均勻。它可以有效強健地判別晶圓瑕疵分佈的均勻性。本年計畫分兩個項目進行: (一)迴力棒圖公式化，吾人要公式化迴力棒圖，直接表達成和晶圓良率、晶粒大小以及信心水準的式子，就好像做一個捕捉蝴蝶的網子，會隨著蝴蝶的品種、大小，以及希望的失誤率來決定。(二)晶圓圖有效數，晶圓良率雖是不錯的選擇，但它還不太能完全表達瑕疵分佈的均勻性，吾人要從兩參數中--不良晶粒數與連續線數，組合出一個新的特徵數--有效數，當晶圓圖瑕疵分佈是均勻的，這有效數會近似平均瑕疵數—每個晶粒上瑕疵個數，有效數偏小表示晶圓圖有過度群聚現象，偏大表示有反群聚現象，進一步的將非均勻分佈再分類成過度群聚與反群聚。