識別瑕疪分佈均勻性於量產晶圓圖-第二部:驕陽初露

專案詳細資料

Description

本計畫“識別瑕疵分佈均勻性於量產晶圓圖 – 第二部: 驕陽初露"為未來晶圓圖分析系統的接續。在前一年的研究成果中,建構了一個迴力棒圖,是從一個二維的晶圓圖圖像轉換成一個兩參數的數對,其中這兩參數是不良晶粒數與連續線數,在以這兩參數為座標的座標圖上,一個晶圓圖圖像表示成一個點,許多具均勻瑕疵而不同良率的晶圓圖圖像,在新座標圖上,這些點集合會形成一根迴力棒,故稱迴力棒圖,它可用來識別晶圓圖圖像是否是分佈均勻的瑕疵,若座標點落在迴力棒外,我們將判別為非均勻,反之,若在迴力棒內,則判別為均勻。它可以有效強健地判別晶圓瑕疵分佈的均勻性。本年計畫分兩個項目進行: (一)迴力棒圖公式化,吾人要公式化迴力棒圖,直接表達成和晶圓良率、晶粒大小以及信心水準的式子,就好像做一個捕捉蝴蝶的網子,會隨著蝴蝶的品種、大小,以及希望的失誤率來決定。(二)晶圓圖有效數,晶圓良率雖是不錯的選擇,但它還不太能完全表達瑕疵分佈的均勻性,吾人要從兩參數中--不良晶粒數與連續線數,組合出一個新的特徵數--有效數,當晶圓圖瑕疵分佈是均勻的,這有效數會近似平均瑕疵數—每個晶粒上瑕疵個數,有效數偏小表示晶圓圖有過度群聚現象,偏大表示有反群聚現象,進一步的將非均勻分佈再分類成過度群聚與反群聚。
狀態已完成
有效的開始/結束日期1/08/1731/07/18

聯合國永續發展目標

聯合國會員國於 2015 年同意 17 項全球永續發展目標 (SDG),以終結貧困、保護地球並確保全體的興盛繁榮。此專案有助於以下永續發展目標:

  • SDG 13 - 氣候行動
  • SDG 17 - 為永續目標構建夥伴關係

Keywords

  • 晶圓圖
  • 致命瑕疵
  • 製程變動
  • 良率分析
  • 蒙地卡羅模擬
  • 迴力棒圖
  • 瑕疵數

指紋

探索此專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。