微型複雜性結構光學元件之高均勻覆蓋性光學鍍膜技術

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期1/08/1931/07/20

Keywords

  • 光學感測器
  • 微型複雜性結構
  • 原子層沉積技術
  • 即時光學監控系統
  • 顯微光譜量測系統