催化蝕刻法製備具雙面漸變折射率之新穎矽化物/矽晶異質奈米結構陣列及其特性分析

專案詳細資料

Description

一維矽晶及矽化物奈米結構由於其具有高長寬比及高比表面積特性,使其在電子場發射元件、太陽能電池及光感測器等領域上有很大的應用潛力。雖然有許多製程技術已被用以大量製備一維矽晶及矽化物奈米結構,但如何精準調控所製備一維奈米結構之尺寸、形貌、結晶方向、排列週期等,常是決定這些奈米材料能否被實際應用的主要挑戰。因此,本計畫將由在矽單晶基材上製備大面積規則準直排列且尺寸、長度可調變之一維矽單晶奈米線陣列著手,並設計開發製備各式尖針狀、錐狀、中空管狀矽晶及矽化物奈米結構之新穎製程技術。同時,藉助各式材料分析與性質量測儀器有系統地探討不同一維奈米結構之生成反應機制,及其對應之電子場發射和紅外線感測等特性表現。本計畫擬以一年為期,除逐步添購實驗必需之儀器設備外,在相關實驗執行規劃上將針對以下四個子題分階段進行深入研究:一、催化蝕刻法製備大面積規則準直排列且具漸變折射率之尖錐狀矽單晶奈米線陣列。二、開發大面積規則準直排列一維矽單晶中空奈米管陣列之新穎濕式蝕刻製程技術。三、金屬薄膜蒸鍍技術結合高溫熱退火處理製備一維 金屬矽化物/矽單晶 異質奈米線、管陣列。四、開發具雙面漸變折射率之新穎 金屬矽化物/矽單晶 異質蕭基奈米結構陣列紅外線感測元件。
狀態已完成
有效的開始/結束日期1/08/1831/07/19

聯合國永續發展目標

聯合國會員國於 2015 年同意 17 項全球永續發展目標 (SDG),以終結貧困、保護地球並確保全體的興盛繁榮。此專案有助於以下永續發展目標:

  • SDG 7 - 經濟實惠的清潔能源
  • SDG 9 - 產業、創新與基礎設施
  • SDG 17 - 為永續目標構建夥伴關係

Keywords

  • 金屬催化蝕刻
  • 異質奈米結構
  • 矽化物奈米管
  • 漸變折射率
  • 紅外線感測

指紋

探索此專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。