以高能脈衝磁控濺鍍開發摻雜型結晶IGZO透明金屬氧化物薄膜

Chen, Sheng-Hui (PI)

光電科學與工程學系

狀態	已完成
有效的開始/結束日期	1/08/19 → 30/09/20

聯合國永續發展目標

聯合國會員國於 2015 年同意 17 項全球永續發展目標 (SDG)，以終結貧困、保護地球並確保全體的興盛繁榮。此專案有助於以下永續發展目標：

Keywords

金屬氧化物薄膜
摻雜型結晶IGZO
高能脈衝磁控濺鍍