新型高效能真空泵浦魯氏轉子之開發及試驗

魯氏真空泵為乾式真空泵，因近年國内半導體產業蓬勃發展，故在半導體製程設備中 被廣泛的使用，然而國產真空泵在性能上均較國外競爭對手差，而關鍵即在轉子齒形之設 計。故本計晝目的在基於現有機型及機殼尺寸下，開發一款新型高效能真空泵魯氏轉子齒 形，由圓弧、延伸擺線及漸開線所組成，該新型轉子之特點在：組成擺線具有可變動滾圓 及基圓半徑比、具齒頂密封圓弧段、齒形調整彈性範圍大、三葉輪齒之面積利用係數預估 可達0.43以上。此外，更提出各轉角下氣密線長度之計算方法，並得到一氣密面積指標值 以評估及比較氣密性能、降低洩漏、提高泵性能，性能結果部份將由配合廠商協助完成加 工、組裝及測試。