CAAC濺鍍磊晶技術與其在軟性薄膜元件之應用(1/3)

專案詳細資料

Description

本計畫為”CAAC濺鍍磊晶技術與其在軟性薄膜元件之應用”，為CAAC (C-axis Aligned Crystal) C軸磊晶技術，本計畫的研究目標則是藉由本研究團隊自行開發之高能磁控濺鍍來發展CAAC濺鍍磊晶材料，在近幾年來利用此技術之IGZO薄膜電晶體具有高載子遷移率，
狀態已完成
有效的開始/結束日期1/08/20 → 31/07/21

Keywords

  • 濺鍍磊晶技術
  • 軟性薄膜元件

指紋

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