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產學合作計畫-GaN on Si晶圓之奈米強化技術與磊晶驗證(2/2)
Chyi, Jen-Inn
(PI)
電機工程學系
概覽
專案詳細資料
狀態
已完成
有效的開始/結束日期
1/06/17
→
31/07/18
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Keywords
GaN-on-Si
GaN
Si (111) wafer
stress
mechanical strength
nano-texturingstrengthening
wafer edge slip lines