產學合作計畫-GaN on Si晶圓之奈米強化技術與磊晶驗證(2/2)

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期1/06/1731/07/18

Keywords

  • GaN-on-Si
  • GaN
  • Si (111) wafer
  • stress
  • mechanical strength
  • nano-texturingstrengthening
  • wafer edge slip lines