微量流動電解液應用於石英玻璃之電化學線放電加工技術研究(2/2)

專案詳細資料

Description

石英有優異性質,但其硬脆特性,傳統加工方式很難在效率與精度二者兼顧。 電化學放電加工是以高溫熔融並且蝕刻輔助加工,相當適合於石英材料,電化學 放電會產生劇烈電解過程,工具電極受到電解氣泡聚集而成絕緣氣膜所包覆,造 成電極表面的電流密度遞增引發放電火花。因此,放電能量與產生頻率將直接取 決於氣膜結構特徵與包覆穩定性,為影響製程精度、表面品質與材料移除率的關 鍵因素。 目前相關研究,大部分論述皆集中於放電介面較為單純之ECDM 鑽孔加工, 對於WECDM相關論述極少,然而在WECDM加工系統內,線電極所處之環境介面更為 複雜,導致絕緣氣膜結構控制不易及加工區域內電解液循環困難,有鑑於此,本 計畫將針對前述問題分二年進行研究,本計畫之研究目的分述如下: 第一年:探討流動電解液對加工石英玻璃影響,並對氣泡貼覆於線電極表 面的狀態,及氣膜成形特性進行研究。 第二年:以複合加工方式於石英微溝槽加工,改善加工效率及精度,利用 滴定流動電解液控制絕緣氣膜結構及改善加工區域內電解液循環 困難,突破既有電化學線放電加工機制,建立石英微溝槽的精微 加工技術。
狀態已完成
有效的開始/結束日期1/08/1531/12/16

Keywords

  • WECDM
  • 表面粗糙度
  • 微溝槽
  • 石英

指紋

探索此專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。