在重摻雜N型半導體或高純度矽晶材料中轉換介面壁壘型態使電洞流為主控電流，以進行表面陽極氧化合成奈米結構(1/3)

研究成果

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每年研究成果

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• 2022

  Low-temperature rough-surface wafer bonding with aluminum nitride ceramics implemented by capillary and oxidation actions

  Nien, S. M., Ruan, J. L., Kuo, Y. K. & Lee, B. T. H., 15 3月 2022, 於: Ceramics International. 48, 6, p. 8766-8772 7 p.

  研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

  • Low Temperature 100%
  • Rough Surface 100%
  • Nitrides 100%
  • Wafer Bonding 100%
  • Capillary 100%
  6 引文 斯高帕斯（Scopus）