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在重摻雜N型半導體或高純度矽晶材料中轉換介面壁壘型態使電洞流為主控電流,以進行表面陽極氧化合成奈米結構(1/3)
Lee, Tien-Hsi
(PI)
機械工程學系
概覽
指紋
研究成果
(1)
專案詳細資料
狀態
已完成
有效的開始/結束日期
1/08/21
→
31/07/22
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指紋
探索此專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。
Low Temperature
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Nitrides
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Rough Surface
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Capillary
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Wafer Bonding
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Aluminum Nitride Ceramics
Keyphrases
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Oxidation Reaction
Material Science
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Aluminum Nitride
Material Science
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研究成果
每年研究成果
2022
2022
2022
1
期刊論文
每年研究成果
每年研究成果
Low-temperature rough-surface wafer bonding with aluminum nitride ceramics implemented by capillary and oxidation actions
Nien, S. M., Ruan, J. L., Kuo, Y. K. &
Lee, B. T. H.
,
15 3月 2022
,
於:
Ceramics International.
48
,
6
,
p. 8766-8772
7 p.
研究成果
:
雜誌貢獻
›
期刊論文
›
同行評審
Low Temperature
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Rough Surface
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Nitrides
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Wafer Bonding
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Capillary
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6
引文 斯高帕斯(Scopus)